亚洲一区二区三区99区,日韩精品一区在线激情,国产美女三级视频网站,久久精品这里就是精品,日本一区二区三区看片,中文字幕日韩人妻高清在线,国产69口爆吞精在线视频喝尿,日韩视频香蕉在线观看,亚洲一区二区观看网站,国产破处av香蕉在线观看

<bdo id="dyoip"><tbody id="dyoip"></tbody></bdo>

<input id="dyoip"></input>
<rt id="dyoip"></rt>

  1. <span id="dyoip"><delect id="dyoip"></delect></span>

    1. <center id="dyoip"></center>

        <li id="dyoip"></li><li id="dyoip"><legend id="dyoip"></legend></li>

        您好,歡迎進(jìn)入江蘇金紫軒金屬科技有限公司官網(wǎng)!

        技術(shù)知識
        您的位置: 網(wǎng)站首頁 > 行業(yè)新聞 > 技術(shù)知識 >

        提高鎢在半導(dǎo)體制造中填孔能力的方法

        發(fā)布日期:2020-07-25 17:03:49瀏覽次數(shù): 0

        鎢是一種具有高傳導(dǎo)性的金屬元素,在半導(dǎo)體制造中,常被用作金屬層間的通孔(Via)和垂直接觸的接觸孔(Contact)的填充。基本上,集成電路是由數(shù)層材質(zhì)不同的薄膜組成,

              而使這些薄膜覆蓋在半導(dǎo)體器件上的技術(shù),就是所謂的薄膜沉積技術(shù)。薄膜沉積技術(shù)一般有CVD(化學(xué)氣相沉積)和PVD(物理氣相沉積),鎢一般采用CVD(化學(xué)氣相淀積)法來沉積。隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸越來越小,對鎢粉的薄膜填孔能力的要求也越來越高。因此,如何提高金屬鎢粉的填孔能力變得越來越有意義。

              經(jīng)研究發(fā)現(xiàn),在鎢的CVD技術(shù)中,通過改變以下幾點可以較好的提高鎢在半導(dǎo)體制造中的填孔能力:

        1)增加半導(dǎo)體材料浸泡的壓力和時間。半導(dǎo)體材料浸泡的壓力越大,時間越長,鎢的填孔能力越強(qiáng);

        2)增加快速沉積WF6/H2比率及反應(yīng)室壓力。WF6/H2比率越大,反應(yīng)壓力越大,鎢的填孔能力也越強(qiáng);

        3)增加預(yù)熱的壓力。預(yù)熱的壓力越大,鎢的填孔能力越強(qiáng);

        4)增加成核時的WF6/SiH4比率,WF6,SiH4占的分壓及反應(yīng)室的總壓力。WF6/SiH4比率越大,WF6,SiH4占的分壓越大, 反應(yīng)室的總壓力越大,鎢的填孔能力也越強(qiáng);

        5)降低加熱器的溫度。加熱器反應(yīng)的溫度越低,理論上反應(yīng)速度越慢,鎢的填孔能力也越強(qiáng)。
         

         備案號:蘇ICP備17043560號-8  網(wǎng)站地圖  SITEMAP

        13912369188
        成人亚洲欧美久久久久| 国产亚洲AV片在线观看播放| AV在线播放日韩亚洲欧| 天堂在线精品免费亚洲| 亚洲精品中文字幕尤物综合| 人妻公开视频在线免费| 亚洲av高清资源在线观看三区| 丝袜美腿亚洲一区二区| 黄色片av乱码一区二区三区| 香蕉久久夜色精品完成| 日韩人妻一区二区三区蜜桃视频密| 国产手机精品一区二区| 亚洲综合国产成人在线| 中文字幕亚洲乱码熟女在线| 精品制服丝袜一区二区三区| 国产中文av在线观看| 久久九九亚洲国产成人| 久久99国产精品尤物| 亚洲中文字幕乱码第一页| 国产盗摄福利精品国语对白| 人妖精品视频在线观看| 人人妻人人玩人人澡人人爽 | 国产精品免费中文字幕| 乱色熟女一区二区三区| 中文字幕av一区二区三| 亚洲一本大道无码AV天堂| 亚洲中文字幕久久一区| 亚洲无砖砖区免费视频| 男女在线免费视频网站| 日韩av在线观看大全| 亚州熟女一区二区三区| 亚洲精品宾馆在线精品酒店| 亚洲成人偷拍自拍视频| 日本国产一区二区三区| 中文字幕一区二区在线资源| 少妇高潮呻吟在线观看| 日韩中文字幕视频一区| 东京热人妻系列无码专区| 亚洲一区丝袜美腿在线观看| 国内精品国产三级国产av另类| 国产三级精品国产三级|